
0
Mit VORPAL können Forscher komplexe physikalische Phänomene in kürzerer Zeit und zu wesentlich geringeren Kosten simulieren als mit empirischen Tests von Prozessänderungen für Plasma- und Gasphasenabscheidungsprozesse.VORPAL bietet eine einzigartige Kombination physikalischer Modelle, um den gesamten Bereich der Plasmasimulationsprobleme abzudecken.Ionisations- und Neutralgasmodelle ermöglichen es VORPAL, die Lücke zwischen Plasma- und Neutralflussphysik zu schließen.